在人工智能等產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的帶動(dòng)下，半導(dǎo)體用電子級(jí)超純水的市場(chǎng)規(guī)模呈現(xiàn)快速增長(zhǎng)趨勢(shì)，2022年將達(dá)到40億美元。超純水主要用于化學(xué)試劑制備和清洗步驟，其中清洗步驟主要集中在晶圓生產(chǎn)過(guò)程中。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，國(guó)內(nèi)超純水市場(chǎng)需求持續(xù)攀升。(數(shù)據(jù)來(lái)源于網(wǎng)絡(luò))

　　傳統(tǒng)的超純水制備方法主要包括蒸餾法和離子交換法。蒸餾法設(shè)備要求嚴(yán)格，產(chǎn)量低，能耗高。離子交換法再生失效的離子交換樹(shù)脂需要大量的酸堿溶液和大量的清洗水，且勞動(dòng)強(qiáng)度高。早期制藥、化工、發(fā)電等行業(yè)對(duì)純水的水質(zhì)要求不是很高，但隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)純水的水質(zhì)要求也越來(lái)越高了。

　　傳統(tǒng)的方法不適合單獨(dú)生產(chǎn)高純度的超純水。20世紀(jì)60年代以來(lái)，隨著膜技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了微濾、超濾、反滲透和電滲析等新的水處理技術(shù)。目前，反滲透+混床系統(tǒng)已經(jīng)取代了傳統(tǒng)的離子交換系統(tǒng)，但反滲透對(duì)原水中的溶解氣體和一些弱電解質(zhì)等雜質(zhì)的去除效果較差，而且混床再生會(huì)消耗酸堿溶液，產(chǎn)生一定量的廢水。EDI工藝可以連續(xù)再生離子交換樹(shù)脂，無(wú)需酸堿溶液，減少環(huán)境污染。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，高效節(jié)能，勞動(dòng)強(qiáng)度低，水的純度高，因此，EDI超純水設(shè)備受到越來(lái)越多的關(guān)注。

　　在“雙碳”背景下，具有高發(fā)電率和清潔環(huán)保優(yōu)勢(shì)的核電產(chǎn)業(yè)將得到快速發(fā)展，超純水在核電站的需求量很大，未來(lái)超純水產(chǎn)業(yè)有望呈現(xiàn)快速發(fā)展態(tài)勢(shì)。