經(jīng)濟(jì)發(fā)展使集成電路設(shè)計(jì)對(duì)水質(zhì)要求不斷提高，生產(chǎn)需用超純水保障性能。未來，集成電路制造商數(shù)量和產(chǎn)能的增加，將推動(dòng)行業(yè)對(duì)超純水的需求，包括用量增長(zhǎng)及因高精度制造而產(chǎn)生的純度、穩(wěn)定性提升需求。

　　混床離子交換技術(shù)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝，在超純水生產(chǎn)中應(yīng)用廣泛。然而，由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學(xué)藥品(酸堿)和工業(yè)純水，并造成一定的環(huán)境問題，因此需要開發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)。

　　傳統(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需求，于是將膜、樹脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場(chǎng)革命。其離子交換樹脂的再生使用的是電能，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今環(huán)保要求。

　　EDI設(shè)備是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術(shù)生產(chǎn)穩(wěn)定的超純水。超純水系統(tǒng)是將反滲透水處理設(shè)備、EDI設(shè)備和拋光混床相結(jié)合制備超純水的設(shè)備。這不僅是一種制備超純水的新技術(shù)，也是一種環(huán)保、經(jīng)濟(jì)、發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚒?/p>

　　EDI超純水設(shè)備可連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超純水，不會(huì)因樹脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，可為企業(yè)節(jié)省大量空間。與傳統(tǒng)方法相比，超純水設(shè)備具有許多優(yōu)點(diǎn)，可以連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水。